Filter-on-chip
- zur Modifikation der spektralen Response von Si-Photodioden oder anderen Halbleiter-Photoempfängern
- Bond-Pads bleiben frei von Beschichtung
- auch als Filter-Array
- Prozessierung von 2 bis 8 Zoll Wafern
Beispiel: Mit Interferenzfiltern beschichtete Flächen innerhalb der Chip-Struktur
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Optics Balzers Jena GmbH
Carl-Zeiss-Promenade 10
07745 Jena
Tel. 03641 / 35 29 30
Fax 03641 / 35 29 35
info.jena
@opticsbalzers.com
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